Tấm bia bắn phá titan tinh khiết cao cấp 99,8%, 7 vòng, hợp kim titan, dùng cho nhà máy phủ màng, nhà cung cấp.
Thông số sản phẩm
| Tên sản phẩm | Tấm đích titan cho máy phủ PVD |
| Cấp | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Mục tiêu hợp kim: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr, v.v. |
| Nguồn gốc | Thành phố Baoji Tỉnh Thiểm Tây Trung Quốc |
| Hàm lượng titan | ≥99,5 (%) |
| Hàm lượng tạp chất | <0,02 (%) |
| Tỉ trọng | 4,51 hoặc 4,50 g/cm3 |
| Tiêu chuẩn | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Kích cỡ | 1. Mục tiêu hình tròn: đường kính Ø30--2000mm, độ dày 3.0mm--300mm;2. Tấm mục tiêu: Chiều dài: 200-500mm Chiều rộng: 100-230mm Độ dày: 3-40mm;3. Kích thước ống mục tiêu: Đường kính: 30-200mm, Độ dày: 5-20mm, Chiều dài: 500-2000mm;4. Có thể tùy chỉnh theo yêu cầu. |
| Kỹ thuật | Được rèn và gia công bằng máy CNC |
| Ứng dụng | Tách chất bán dẫn, Vật liệu phủ màng, Lớp phủ điện cực lưu trữ, Lớp phủ lắng đọng phún xạ, Lớp phủ bề mặt, Ngành công nghiệp phủ thủy tinh. |
Các yêu cầu hóa học của mục tiêu titan
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Hàm lượng nguyên tố (≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Người khác | ||||
| Titan nguyên chất | Lớp 1 | TA1 | Lớp 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Lớp 2 | TA2 | Lớp 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitanHợp kim | Lớp 5 | TC4Ti-6Al-4V | Lớp 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
| Lớp 7 | TA9 | Lớp 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
| Lớp 12 | TA10 | Lớp 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Tính chất cơ học theo chiều dọc ở nhiệt độ phòng
| Cấp | Độ bền kéoRm/MPa(>=) | Độ bền kéoRp0,2 (MPa) | Sự kéo dàiA4D (%) | Giảm diện tíchZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Lớp 2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Lớp 12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Mục tiêu phún xạ titan
Kích thước thông dụng của bia bắn phá titan: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40, v.v.
Cũng có thể tùy chỉnh theo yêu cầu hoặc bản vẽ của khách hàng.
Yêu cầu đặt ra: độ tinh khiết cao, hạt tinh thể đồng nhất và độ đặc chắc tốt.
Độ tinh khiết: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Quy trình sản xuất mục tiêu titan
Titan xốp --- nấu chảy thành thỏi titan --- kiểm tra --- cắt thỏi --- rèn --- cán --- bóc vỏ --- duỗi thẳng --- phát hiện khuyết tật bằng siêu âm --- đóng gói
Đặc điểm mục tiêu bằng titan
1. Mật độ thấp và độ bền cao
2. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời
3. Khả năng chịu nhiệt tốt
4. Khả năng chịu nhiệt tuyệt vời đối với môi trường đông lạnh
5. Không nhiễm từ và không độc hại
6. Tính chất nhiệt tốt
7. Mô đun đàn hồi thấp







